產(chǎn)品中心

場(chǎng)發(fā)射機(jī)型 FE-1050

儀器型號(hào)：FE-1050系列

制造商：納克微束

原產(chǎn) 地：北京

更新時(shí)間:2025-10-24

免費(fèi)銷售熱線:400-6218-010

獲取報(bào)價(jià)

產(chǎn)品介紹

技術(shù)參數(shù)與優(yōu)勢(shì)

儀器特點(diǎn)

FE-1050系列掃描電子顯微鏡技術(shù)規(guī)格

FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

國(guó)產(chǎn)旗艦機(jī)型，引領(lǐng)微觀世界探索

產(chǎn)品特點(diǎn)

在新一代電子光學(xué)鏡筒的加持下，展現(xiàn)低電壓、高分辨的卓越性能
27個(gè)端口拓展、大艙室，輕松應(yīng)對(duì)各類成像、分析需求
極簡(jiǎn)化操作、自動(dòng)化交互、智能化特征識(shí)別統(tǒng)計(jì)，成倍提高工作效率
終身售后保障，7*24售后響應(yīng)

以"優(yōu)"為本，助力微觀世界的探索與發(fā)現(xiàn)

FE-1050系列掃描電子顯微鏡技術(shù)規(guī)格

FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

國(guó)產(chǎn)旗艦機(jī)型，引領(lǐng)微觀世界探索

1. 電子光學(xué)系統(tǒng)

電子槍	Schottky 場(chǎng)發(fā)射型
物鏡類型	非浸沒電磁復(fù)合透鏡
加速電壓	0.02 ~ 30 KV
束斑電流	10 pA 至 30 nA (100nA 選配)
放大倍數(shù)	10x - 1,000,000x
分辨率	SE: 1.5nm (1KV)、0.9nm (15KV) BSE (選配): 2.5nm (1KV)、1.5nm (15KV) STEM: 0.8nm (30KV)

2. 真空系統(tǒng)

離子泵 (IOP)	25 L/s + 2X20 L/s
渦輪分子泵 (IMP)	250 L/s (M.)
前級(jí)真空泵	15m3/A 機(jī)械泵、無油渦旋機(jī)械泵（選配）
電子槍真空	< 1.0 × 10^-7 Pa
主樣品室極限真空	< 1.0 × 10^-4 Pa
樣品室接口數(shù)	27 個(gè)
預(yù)抽室	50nm 樣品托盤自動(dòng)送樣 4/6 英寸晶圓自動(dòng)送樣（選配）預(yù)抽室光學(xué)導(dǎo)航

3. 樣品運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

樣品臺(tái)行程

X: 140mm
Y: 140mm
Z: 60mm
R: 連續(xù) 360°
T: -10° ~ +90°

重復(fù)定位精度

X/T/Z < 1μm (選配)

樣品最大承重

5kg

4. 圖像處理系統(tǒng)

最小駐留時(shí)間	20ns
采集方式	4 通道同步采集
最大圖像分辨率	24k × 24k 像素

5. 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

CPU	Intel Xeon E5 及以上處理器
內(nèi)存	32GB
顯卡	顯存 ≥ 2GB；位寬 ≥ 384bit
顯示器	34 英寸超寬屏顯示器
控制臺(tái)	人體工程學(xué)可升降操控臺(tái)

6. 探測(cè)器系統(tǒng)

檢測(cè)器	- In-Cd1mm SE 探測(cè)器 - ET-SE 探測(cè)器 - 插入式 BSE 探測(cè)器（選配） - STEM 探測(cè)器（選配） - 紅外 CCD 主腔室監(jiān)控-3 路
附件 (選配)	- 斜插式能譜儀 (EDS) - 平插式能譜儀 (Flat-EDS) - 波譜儀 (WDS) - 電子背散射衍射儀 (EBSD) - 陰極熒光探測(cè)器 (CL) - 聚焦離子束 (FIB) - 原位拉伸加熱臺(tái)/制冷臺(tái) - 冷凍轉(zhuǎn)移樣品倉(cāng)等第三方附件設(shè)備

FE-1050系列掃描電子顯微鏡技術(shù)規(guī)格

FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

國(guó)產(chǎn)旗艦機(jī)型，引領(lǐng)微觀世界探索

儀器特點(diǎn)

應(yīng)用范圍廣

FE系列掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料和生命科學(xué)等領(lǐng)域，能夠?yàn)槟峁└叻直媛实膱D像和更豐富的組織細(xì)節(jié)。

拓展性強(qiáng)

豐富的拓展附件，比如能譜儀EDS、背散射電子衍射EBSD、電子束感生電流EBIC等，可幫助用戶對(duì)樣品的成分、結(jié)構(gòu)信息有著更全面的了解。

自動(dòng)化功能豐富

在FE系列專業(yè)分析平臺(tái)上，可通過專用的自動(dòng)夾雜物分析系統(tǒng)、清潔度和顆粒度自動(dòng)檢測(cè)以及礦物自動(dòng)分析系統(tǒng)，對(duì)自身產(chǎn)品建立在線的質(zhì)量過程控制。您還可以在可變環(huán)境下實(shí)時(shí)觀察材料的相互作用;借助自動(dòng)化工作流程實(shí)現(xiàn)高效應(yīng)用。

設(shè)計(jì)先進(jìn)，穩(wěn)定性更優(yōu)

FE系列新電子光學(xué)鏡筒幾何學(xué)設(shè)計(jì)能確保在分析工作條件下達(dá)到優(yōu)秀分辨率。納克微束電鏡在制造加工方面要求非常嚴(yán)格，精湛的制造工藝及加工裝配檢驗(yàn)工藝，其抗磁、防震、抗噪及密封性能極佳，整體性、穩(wěn)定性更好。

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直讀光譜儀

金屬原位分析儀

碳硫分析儀

氧氮?dú)浞治鰞x

ICP光譜儀

ICP-MS

X熒光光譜儀

試驗(yàn)機(jī)

掃描電子顯微鏡

熱點(diǎn)方案

材料質(zhì)量控制

工業(yè)智能控制

整體實(shí)驗(yàn)室

食藥大健康

生態(tài)環(huán)境保護(hù)

產(chǎn)品中心材料產(chǎn)業(yè)質(zhì)量基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的引領(lǐng)者

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技術(shù)參數(shù)與優(yōu)勢(shì)

儀器特點(diǎn)

FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品特點(diǎn)

FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

1. 電子光學(xué)系統(tǒng)

2. 真空系統(tǒng)

3. 樣品運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

樣品臺(tái)行程

重復(fù)定位精度

樣品最大承重

4. 圖像處理系統(tǒng)

5. 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

6. 探測(cè)器系統(tǒng)

FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

儀器特點(diǎn)

應(yīng)用范圍廣

拓展性強(qiáng)

自動(dòng)化功能豐富

設(shè)計(jì)先進(jìn)，穩(wěn)定性更優(yōu)

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掃描電子顯微鏡

熱點(diǎn)方案

材料質(zhì)量控制

工業(yè)智能控制

整體實(shí)驗(yàn)室

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產(chǎn)品介紹 技術(shù)參數(shù)與優(yōu)勢(shì) 儀器特點(diǎn)

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 電子光學(xué)系統(tǒng)

2. 真空系統(tǒng)

3. 樣品運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

樣品臺(tái)行程

重復(fù)定位精度

樣品最大承重

4. 圖像處理系統(tǒng)

5. 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

6. 探測(cè)器系統(tǒng)

儀器特點(diǎn)

應(yīng)用范圍廣

拓展性強(qiáng)

自動(dòng)化功能豐富

設(shè)計(jì)先進(jìn)，穩(wěn)定性更優(yōu)

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